为什么说大口径偏心仪是光刻机物镜装调的精确之选？
在半导体制造领域，光刻机物镜的装调精度直接关系到芯片的质量和产量。德国全欧光学（TRIOPTICS）的OptiCentric®UP系列，以其卓越的大口径中心偏差测量技术，成为了光刻机物镜装调的精确之选。
一、精确度，从中心偏差开始
OptiCentric®UP系列以其±0.2μm或±2″的中心偏差测量精度，确保了物镜组件的精确定位。这一精度，对于追求极致性能的光刻机来说，是不可或缺的。无论是400mm、600mm还是800mm的样品直径，OptiCentric®UP都能提供相应的型号，满足不同规模光刻机的需求。
二、重复精度，确保一致性
在重复精度方面，OptiCentric®UP同样表现出色，±0.1μm或±1″的重复精度，保证了物镜在多次使用中的稳定性和可靠性。这对于保持生产过程中的一致性至关重要，确保了每一片芯片的质量和性能。
三、多功能性，一站式解决方案
OptiCentric®UP不仅仅是一个测量工具，它还集成了光学传递函数(MTF)测量、中心厚度测量、焦距测量等多种功能，为光刻机物镜的全面性能评估和优化提供了一站式解决方案。
四、大口径高负载，适应各种挑战
面对光刻机物镜的大口径和高负载挑战，OptiCentric®UP以其最大1200KG的样品重量和1500mm的样品高度，展现出了强大的适应能力。无论是重量还是体积，OptiCentric®UP都能轻松应对。
OptiCentric®UP系列中心偏差测量仪通过提供精确的测量和装配工具，对于确保光刻机物镜的高性能和可靠性发挥着关键作用。
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2026-02-12
