为什么说大口径偏心仪是光刻机物镜装调的精确之选？
在半导体制造领域，光刻机物镜的装调精度直接关系到芯片的质量和产量。德国全欧光学（TRIOPTICS）的OptiCentric®UP系列，以其卓越的大口径中心偏差测量技术，成为了光刻机物镜装调的精确之选。
一、精确度，从中心偏差开始
OptiCentric®UP系列以其±0.2μm或±2″的中心偏差测量精度，确保了物镜组件的精确定位。这一精度，对于追求极致性能的光刻机来说，是不可或缺的。无论是400mm、600mm还是800mm的样品直径，OptiCentric®UP都能提供相应的型号，满足不同规模光刻机的需求。
二、重复精度，确保一致性
在重复精度方面，OptiCentric®UP同样表现出色，±0.1μm或±1″的重复精度，保证了物镜在多次使用中的稳定性和可靠性。这对于保持生产过程中的一致性至关重要，确保了每一片芯片的质量和性能。
三、多功能性，一站式解决方案
OptiCentric®UP不仅仅是一个测量工具，它还集成了光学传递函数(MTF)测量、中心厚度测量、焦距测量等多种功能，为光刻机物镜的全面性能评估和优化提供了一站式解决方案。
四、大口径高负载，适应各种挑战
面对光刻机物镜的大口径和高负载挑战，OptiCentric®UP以其最大1200KG的样品重量和1500mm的样品高度，展现出了强大的适应能力。无论是重量还是体积，OptiCentric®UP都能轻松应对。
OptiCentric®UP系列中心偏差测量仪通过提供精确的测量和装配工具，对于确保光刻机物镜的高性能和可靠性发挥着关键作用。
-
干涉测量术的原理、应用及技术演进研究
从宇宙天体的精细化观测到纳米级工业制造的质量管控，干涉测量术基于波的干涉效应，已发展为现代科学研究与工业生产中不可或缺的精准测量技术支撑。该技术以激光为核心载体，通过系统解析波的干涉规律，在跨学科领域实现了测量精度与应用范围的双重突破，成为推动科技进步的关键基础性工具。
2025-11-17
-
什么是柱镜光栅？微米级光学技术引领视觉领域革新
当裸眼3D影像突破平面束缚，当立体成像技术赋能产品包装升级，当光学隐身从科幻概念走向技术实践，柱镜光栅这一核心光学材料正凭借其独特的技术特性，在多个领域推动视觉体验与应用场景的深度变革。作为由微米级圆柱状凸透镜阵列构成的功能性光学材料，柱镜光栅以精准调控光线传播路径的核心能力，成为连接微观结构与宏观视觉应用的关键桥梁。
2025-11-17
-
突破性进展：阿秒涡旋脉冲串成功实现，拓展超快光-物质相互作用研究新维度
在超快光学领域，阿秒脉冲技术已成为观察原子、离子、分子等微观体系中超快电子动力学的重要手段，而轨道角动量这一关键自由度的引入，为该技术的创新发展提供了全新方向。近日，西班牙萨拉曼卡大学AlbadelasHeras教授、美国科罗拉多矿业学院DavidSchmidt教授领衔的联合研究团队，在国际权威期刊《Optica》（Vol.11,No.8）发表重磅研究成果，成功研发出阿秒涡旋脉冲串这一新型超快结构化光场。该成果通过创新性技术方案突破传统瓶颈，为化学、生物、凝聚态物理及磁学等多学科前沿研究提供了具备高时间分辨率与多维调控能力的独特工具。
2025-11-17
-
清华大学提出神经光瞳工程傅里叶叠层成像技术实现大视场高分辨率显微成像突破
在科研与医疗领域，显微镜的大视场观测与高分辨率成像需求长期存在相互制约的技术矛盾。当观测视场扩大时，边缘区域易出现图像失真、细节模糊等问题，严重影响后续分析与应用。清华大学曹良才课题组提出的神经光瞳工程傅里叶叠层成像（NePEFPM）新方法，成功破解这一技术瓶颈，为大视场高分辨率显微成像提供了创新性解决方案。相关研究成果发表于国际权威期刊《Optica》。
2025-11-17
