为什么说大口径偏心仪是光刻机物镜装调的精确之选？
在半导体制造领域，光刻机物镜的装调精度直接关系到芯片的质量和产量。德国全欧光学（TRIOPTICS）的OptiCentric®UP系列，以其卓越的大口径中心偏差测量技术，成为了光刻机物镜装调的精确之选。
一、精确度，从中心偏差开始
OptiCentric®UP系列以其±0.2μm或±2″的中心偏差测量精度，确保了物镜组件的精确定位。这一精度，对于追求极致性能的光刻机来说，是不可或缺的。无论是400mm、600mm还是800mm的样品直径，OptiCentric®UP都能提供相应的型号，满足不同规模光刻机的需求。
二、重复精度，确保一致性
在重复精度方面，OptiCentric®UP同样表现出色，±0.1μm或±1″的重复精度，保证了物镜在多次使用中的稳定性和可靠性。这对于保持生产过程中的一致性至关重要，确保了每一片芯片的质量和性能。
三、多功能性，一站式解决方案
OptiCentric®UP不仅仅是一个测量工具，它还集成了光学传递函数(MTF)测量、中心厚度测量、焦距测量等多种功能，为光刻机物镜的全面性能评估和优化提供了一站式解决方案。
四、大口径高负载，适应各种挑战
面对光刻机物镜的大口径和高负载挑战，OptiCentric®UP以其最大1200KG的样品重量和1500mm的样品高度，展现出了强大的适应能力。无论是重量还是体积，OptiCentric®UP都能轻松应对。
OptiCentric®UP系列中心偏差测量仪通过提供精确的测量和装配工具，对于确保光刻机物镜的高性能和可靠性发挥着关键作用。
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飞秒激光技术：引领电镜载网加工进入高精度高效时代
在微纳尺度科学研究与工业检测领域，电子显微镜（以下简称“电镜”）是揭示物质微观结构、探究材料性能机理的核心观测工具。而电镜载网作为支撑与固定待测样品的关键组件，其加工质量不仅直接决定样品固定的稳定性，更对薄膜沉积效果、器件结构分析精度及最终电镜成像质量产生关键性影响。因此，研发适配微纳领域需求的载网加工技术，已成为提升电镜应用效能的重要环节。
2025-09-30
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光的折射与光速变化机制探析
将直筷斜插入盛水容器中，肉眼可观察到筷子在水面处呈现“弯折”形态；夏季观察游泳池时，主观感知的池底深度显著浅于实际深度——此类日常现象的本质，均是光在不同介质界面发生折射的结果。在物理学范畴中，折射现象的核心特征之一是光的传播速度发生改变。然而，“光以光速传播”是大众熟知的常识，为何光在折射过程中速度会出现变化？这一问题需从光的本质属性、介质与光的相互作用等角度展开严谨分析。
2025-09-30
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纳米尺度光与物质强耦合新突破：定向极化激元技术开辟精准调控研究新范式
2025年9月22日，国际权威期刊《NaturePhotonics》发表了一项具有里程碑意义的研究成果：由西班牙奥维耶多大学PabloAlonso-González教授与多诺斯蒂亚国际物理中心AlexeyNikitin教授联合领衔的研究团队，首次通过实验实现了纳米尺度下传播型极化激元与分子振动的定向振动强耦合（directionalvibrationalstrongcoupling,VSC）。该突破不仅为极化激元化学领域拓展了全新研究维度，更推动“光与物质相互作用的按需调控”从理论构想迈向实验验证阶段。
2025-09-30
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从传统工艺到原子级精控了解超光滑镜片加工技术的六大核心路径
超光滑镜片作为光刻机、空间望远镜、激光雷达等高端光学系统的核心元件，其表面微观粗糙度需达到原子级水平（通常要求均方根粗糙度RMS＜0.5nm），以最大限度降低光散射损耗，保障系统光学性能。前文已围绕超光滑镜片的定义、潜在危害及检测方法展开探讨，本文将系统梳理其加工技术体系，从奠定行业基础的传统工艺，到支撑当前高精度需求的先进技术，全面解析实现原子级光滑表面的六大核心路径。
2025-09-30
