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调制传递函数—MTF的原理是什么？
在光学领域，调制传递函数（MTF）是衡量光学系统性能的关键参数之一。它不仅能够反映光学系统的成像质量，还能指导光学设计和优化。本文将深入探讨调制传递函数的原理，以及如何通过不同的方法来测试和评估MTF。
넶759 2024-04-30
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超高NA光刻投影物镜高阶波像差检测方法
在极大规模集成电路制造领域，光刻机是核心装备，而投影物镜作为光刻机的关键分系统，其波像差直接影响光刻套刻精度与成像分辨率。随着光刻技术从干式向浸没式演进，投影物镜数值孔径（NA）已提升至1.35，高阶波像差（主要为Z₃₈~Z₆₄）的影响愈发显著，对其进行快速、高精度检测成为保障掩模图形高保真度转移至硅片的关键。本文提出一种基于八角度孤立空检测标记的超高NA光刻投影物镜高阶波像差检测方法，有效解决了传统检测技术的局限，实现了高阶波像差的高精度检测。
넶0 2026-05-14 -
从美学感知到工程量化：Bokeh焦外成像的科学解析与测量实践
Bokeh（源自日语“ボケ”，意为“模糊”或“晕化”）作为摄影领域中描述焦外虚化美学质量的专业术语，长期以来被赋予强烈的主观审美属性。然而，随着光学工程技术的发展，这一原本依赖经验判断的“玄学”概念，已通过点扩散函数（PSF）的测量与分析，转化为可量化、可重复的客观工程指标。本文结合摄影理论、光学工程手册及专业测量工具应用实践，系统阐述Bokeh的本质内涵、评价维度、测量方法及影响因素，为光学设计、镜头研发、质量控制及摄影爱好者提供兼具理论性与实用性的参考依据。
넶1 2026-05-14 -
U型红外双反射镜折转光学系统MTF精准测量与装调矫正技术研究
针对U型红外双反射镜折转光学系统因结构布局限制，无法采用常规光学传递函数测试仪直接开展MTF检测的行业技术难题，本文提出一种基于中继镜组光瞳衔接的组合式MTF测量方法。通过设计近衍射极限红外中继镜组，实现被测系统像面引出与光路匹配，依托线性非相干光学系统传递函数乘积特性，分离解算得到被测折转光学系统真实MTF性能；同时结合偏心偏差检测手段，建立MTF异常溯源与精密装调矫正流程。实验结果表明，该测量方案数据重复性优异，可精准识别光学元件偏心装配缺陷，经装调矫正后系统MTF指标可回归合格标准，能够满足红外折转光学系统批量生产的性能检测与质量管控需求。
넶1 2026-05-13 -
ZEMAX光学仿真中PE滤光片人眼明视觉光谱权重标定方法
在基于ZEMAX软件的光学镜头MTF传函仿真测试场景中，PE滤光片常被用于模拟人眼明视觉光谱响应特性，而各波长权重的合理设定是保障仿真精度的核心环节。本文采用高斯函数拟合模型，构建PE滤光片人眼明视觉光谱波长权重标准化计算体系，明确计算原理、流程与关键参数，输出常用波段标定权重数值，可为目视光学系统设计、镜头成像质量仿真提供规范、可直接落地的参数依据。
넶1 2026-05-12
