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调制传递函数—MTF的原理是什么？
在光学领域，调制传递函数（MTF）是衡量光学系统性能的关键参数之一。它不仅能够反映光学系统的成像质量，还能指导光学设计和优化。本文将深入探讨调制传递函数的原理，以及如何通过不同的方法来测试和评估MTF。
넶774 2024-04-30
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分步投影光刻机的照明光学系统
在微细加工领域，分步投影光刻机是半导体制造工程中的核心装备，其心脏部件是投影光刻物镜——可以说投影光刻物镜的发展史就是光刻机的发展史。然而，作为投影光刻物镜辅助部分的照明光学系统，与物镜是并肩发展的：高性能的物镜必须在与之相匹配的照明系统的作用下，才能充分发挥其性能。在人们为追求高分辨率、高生产率而绞尽脑汁设计高性能投影光刻物镜的同时，以一种新的观点来进一步探讨和设计照明系统，同样至关重要。
넶0 2026-06-12 -
MTF测量入门：读懂那条决定镜头命运的曲线
调制传递函数（MTF）是光学系统成像质量的终极裁判。本文从工程视角出发，把MTF的物理含义、曲线读法、测量原理和实操要点讲清楚——不讲虚的，都是工程师用得上的。
넶0 2026-06-12 -
定心车削工艺在光机共轴组件制造中的工程分析
光机共轴组件（由透镜或胶合件与金属镜框组合而成）的制造核心在于两个指标——光轴与镜框外圆的共轴性（倾斜偏心控制）以及光学元件在镜框内的轴向位置精度（空气间隔控制）。定心车削（也称定心取边）通过在车床上以透镜自身光轴为基准车削镜框外圆与端面，解决难以在系统级补偿的倾斜偏心问题。但该工艺无法消除装配间隙引入的平移偏心，后者需通过主动对准、机械调整或过盈压入等方式在装配环节独立处理。本文从定心车削的物理原理出发，系统分析各功能模块的工作机理、关键技术难点及工程解决方案，并对三种主流装配对中方案给出选型建议。
넶1 2026-06-11 -
动态干涉仪：将干涉条纹调至最少的物理原理与工程逻辑
在菲索（Fizeau）或泰曼-格林（Twyman-Green）干涉仪的日常测量操作中，将干涉条纹调整至趋于零条纹或单条宽条纹，是决定测量精度与数据可靠性的关键步骤。本文从干涉强度分布的数学表达式出发，系统阐述"调至少条纹"行为的深层物理本质——即通过机械调整消除倾斜与离焦引入的附加相位，回归零位测量状态；进而分析各系统模块（光源、调整架、探测、相位解算）在少条纹条件下的工作原理，并给出关键难点的工程解决方案。
넶3 2026-06-11
