纵向塞曼效应双频激光干涉仪的原理与应用
在现代光学测量领域中,纵向塞曼效应双频激光干涉仪是一种重要的测量工具。它基于独特的物理原理,能够实现高精度的距离测量。
纵向塞曼效应双频激光干涉仪的工作原理如下:纵向塞曼激光器发出左右圆偏振光,经λ/4波片后成为偏振方向相互垂直的同轴双频激光f1和f2。这两束光在分光镜BS处分为两部分,反射部分经检偏器P1形成拍频f2-f1,由光电探测器D1接受,作为系统的参考信号。透射部分在偏振分光镜PBS处按偏振方向分解,一路指向定镜R,频率为f1;另一路指向靶镜M,频率为f2。
当靶镜M移动时,返回光会产生多普勒频移±Δf,加于原频率f2之上。此时,f2+Δf与f1两光束在偏振分光镜PBS汇合,经45°放置的检偏器P2得到含有测量距离信息的拍频信号(f2-f1)±Δf,由光电探测器D2接收,作为测量信号。
在Machelson干涉仪中,靶镜M的移动距离可以通过以下公式计算:L=λ/2*∫_{0}^{t}Δfdt=N*λ/2。其中,λ为激光波长,多普勒频移Δf的积分为条纹数N。减法器S通过[(f2-f2)±Δf,]-(f2-f1)]的运算得到±Δf,进而可以根据上式计算得到测量长度值L。
纵向塞曼效应双频激光干涉仪具有高精度、高稳定性的特点,广泛应用于机械制造、航空航天、半导体等领域的精密测量。它为这些领域的发展提供了重要的技术支持,有助于提高产品质量和生产效率。
纵向塞曼效应双频激光干涉仪是一种先进的光学测量仪器,其原理和应用对于推动科技进步具有重要意义。
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