激光位移传感器原理
激光位移传感器是一种利用激光技术进行测量的传感器。它由激光器、激光探测器和测量电路组成。
激光位移传感器通常用于测量长度、距离、振动、速度和方向等物理量,以及大气污染物的检测和监测。
根据测量原理,激光位移传感器原理分为激光三角测量法和激光回波分析法。激光三角测量法一般适用于高精度、短距离测量,而激光回波分析法则适用于长距离测量。下面分别介绍激光位移传感器原理的两种测量方法。
1.激光三角测量法原理
激光三角测量法的原理是利用激光束以一定角度聚焦在待测物体表面,然后从另一个角度对物体进行测量,表面上的激光光斑进行成像。激光照射点在物体表面的高度不同,散射或反射光的角度也不同,使用CCD光电探测器测量光斑图像的位置,即可计算出主光的角度。由此,可以计算出激光照射点在物体表面的位置和高度。当物体沿激光线方向移动时,测量结果会发生变化,从而实现利用激光测量物体的位移。过去,由于成本和体积等限制,其应用并未普及。近年来,随着电子技术的快速发展,特别是半导体激光器、CCD等用于图像检测的电子芯片的发展,激光三角位移传感器在性能提高的同时,尺寸和成本不断缩小,并逐渐从研究到实际应用,从实验室到实践。
采用三角测量法的激光位移传感器最大线性度可以达到1um,分辨率可以达到0.1um的水平。例如ZLDS100型传感器可实现0.01%高分辨率,0.1%高线性度、9.4KHz高响应,并能适应恶劣环境。
2.激光回波分析法原理
激光位移传感器利用回波分析原理来测量距离,达到一定的精度。传感器内部由处理器单元、回波处理单元、激光发射器、激光接收器等部分组成。激光位移传感器通过激光发射器每秒向检测物体发射一百万个激光脉冲并返回接收器。处理器计算激光脉冲遇到检测物体并返回接收器所需的时间,从而计算出距离值 ,输出值为数千次测量结果的平均输出。激光回波分析法适合远距离检测,但测量精度低于激光三角测量法,最长检测距离可达250m。
延伸阅读:
与其他传感技术相比,激光位移传感器具有许多优势。这些包括:
1.高精度——激光二极管产生尺寸和形状精确的激光束,使其具有极高的精度。
2.易于集成激光位移传感器体积小、重量轻,易于安装在设备上。
3.非接触式传感——激光束提供非接触式距离传感,这在不需要或不可能进行物理接触的应用中非常有用。
4.快速可靠——激光检测速度快,并提供可重复的测量。
5.自动化潜力——激光位移传感器可用于自动化系统,其中测量的数据用于控制过程参数。
激光位移传感器是一种自动光学传感技术,用于测量距离、尺寸和表面轮廓。它是一种高精度且可靠的非接触式传感形式,适用于许多工业和科学应用,其广泛的优势使其成为许多测量和自动化应用的理想选择。
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