Nanoform X小框架金刚石车床 Precitech超精密加工
Nanoform X是普瑞思泰克(Precitech)研发的小框架超精密金刚石车床的旗舰型号,设计用于光学透镜、模芯、反射镜和精密机械件的金刚石车削、铣削和磨削。机床可配置成两轴至四轴,用来加工球面、非球面和自由曲面,最大直径至440毫米。
双框架设计配合TMC MaxDamp减振系统有效降低了振动对加工的影响。HS-150主轴使热稳定性比前代产品提升了5倍。行业领先的小于1纳米Sa的表面粗糙度和小于0.1微米PV的形状精度,使Nanoform X成为小框架超精密加工领域的标杆产品。
核心定位:中小口径光学元件和精密模具镶件的超精密金刚石车削、铣削和磨削量产平台。自1962年Precitech进入该领域以来,全球已安装超过1500套系统。

关键技术规格
加工性能
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指标 |
参数 |
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表面粗糙度 |
<1.0 nm Sa(金刚石车削) |
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形状精度 |
<0.1 μm P-V(按要求在同一表面检测与测量) |
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编程分辨率 |
0.01 nm 直线 / 0.0000001° 回转 |
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位置反馈分辨率 |
8 pm(0.008 nm) |
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最大进给速度 |
4,000 mm/min |
直线导轨(静压油轴承)
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参数 |
X轴 |
Z轴 |
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行程 |
220 mm |
220 mm |
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驱动系统 |
对称直线电机 |
对称直线电机 |
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水平直线度 |
0.2 μm 全行程 |
0.2 μm 全行程 |
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25mm直线度 |
0.05 μm |
0.05 μm |
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垂直直线度 |
0.375 μm 全行程 |
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主轴选项
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参数 |
HS-75 主轴 |
HS-150 主轴 |
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空气轴承类型 |
槽式止推轴承 |
槽式止推轴承 |
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极限载荷 |
45 kg @100 PSI |
136 kg @100 PSI / 204 kg @150 PSI |
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轴向刚性 |
105 N/μm |
230 N/μm |
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径向刚性 |
35 N/μm |
130 N/μm |
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运动精度(轴向/径向) |
≤20 nm |
≤15 nm |
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C轴反馈分辨率 |
0.018 arcsec |
0.010 arcsec |
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C轴定位精度 |
±1.0 arcsec |
±1.0 arcsec |
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C轴最大转速 |
4,000 RPM |
2,000 RPM |
核心特性和优势
天然花岗岩底座密封式设计,提供极佳的机床长久稳定性和热稳定性
TMC MaxDamp隔振FEA优化双子框架+集成自调平隔振器,可选PEPS II-VX主动隔振
HS-150高性能主轴热稳定性提升5倍,槽式止推轴承设计,液体冷却±0.1°C精度
UPx控制系统QNX实时操作系统,64位浮点十进制精度,可选自适应控制技术
全开放式外罩设计可打开上部外壳清洗和维护,内部隔舱密封改善切屑防护
多轴配置灵活2轴X-Z轮廓车削 / 3轴B轴刀具正交 / 4轴快刀伺服自由曲面
典型应用
- 红外透镜和光学元件的金刚石车削(锗、硅、硫化锌等)
- 光学模芯镶件(非球面、衍射面)的超精密加工
- 精密金属反射镜(铜、铝)的单点金刚石车削
- 自由曲面光学元件的慢刀伺服/快刀伺服加工
- 微透镜阵列和菲涅尔结构的轮廓加工
- 精密机械件(磁盘基板、泵阀组件)的超精密车削
