什么是微透镜阵列?微透镜阵列的作用是什么？

1.微透镜阵列是由通光孔径、浮雕深度为微米级的透镜组成的阵列。它不仅具有调焦、成像等传统镜头的基本功能，还具有单位尺寸小、集成度高的特点，使得它能够完成传统光学元件无法完成的功能，并能组成许多新的光学系统。

2.微透镜阵列可分为折射式微透镜阵列和衍射式微透镜阵列两类。衍射微透镜阵列利用其表面波长级三维浮雕结构对光波进行调制变换，具有轻、薄、设计灵活等特点。作为功能组件，可广泛应用于波前传感、聚光、光整形等各种系统中。

　　微透镜阵列将完整的激光波前分成空间中的许多微小部分。每个部分都通过相应的小透镜聚焦在焦平面上。一系列微透镜可以获得一系列焦点组成的平面。如果激光波前是理想的平面波前，则在微透镜阵列的焦平面上可以获得均匀、规则的焦点分布;然而，实际的激光波前并不是理想的平面波前，它们或多或少有一些畸变，用微透镜阵列聚焦后，焦点不再是均匀分布的，而是偏离了理想焦点。

　　延伸阅读：

　　如今，工业研究实验室制造微阵列透镜的方法有很多种，主要有光敏玻璃热成型法、激光直写法、光刻胶热回流法、反应离子刻蚀法、热冲压成型法等多种方法，以下主要介绍主要且应用最广泛的方法。

1.光刻胶热回流法

　　该方法主要分为三个步骤： 1、以目标图案作为曝光组(正六边形、矩形或圆形)，使用掩模版对基板上的光刻胶进行曝光。2、清理残留杂物。3、放在加热平台上加热，使其热熔成型。

　　优点：工艺简单，对材料和设备要求低，易于扩大生产和控制工艺参数。缺点：由于工艺本身的问题，成品可能不理想。其次，由于材料的机械和化学特性，其光学性能不是很好。

2.激光直写法

　　激光直写方法主要有以下步骤： 1、在计算机上设计微透镜阵列曝光结构。2、将设计图案写入激光直写系统。3、将带有光刻胶的基板放置在直写平台上，激光进行刻字，刻字后清理表面残留物。获取数组结构。

　　其优点是：精度高、适合模型制作、易于扩大生产、质量高、成本低

创建时间：2023-12-04 14:23

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