椭偏仪MARY-102 薄膜厚度、光学常数以及材料微结构光学测量仪
椭偏仪是一种光学仪器，它测量
光束从样品表面反射时的偏振态变化，以分析
光束从样品表面反射时的偏振态变化，以分析
自动椭偏仪 MARY-102 （膜厚测量系统）是一种光学仪器，它测量光束从样品表面反射时的偏振态变化，以分析薄膜厚度、折射率/吸收等光学常数或散装材料的光学常数。MARY-102 是基于集成技术开发的，优点包括：紧凑的尺寸、更低的价格、更高的精度和用户友好的软件。
技术规格
| 方法 | 旋转减速器方法 |
| 光源 | 0.8 mW HeNeLaser (λ@632.8nm) |
| 光束直径 | 0.8mm Φ |
| 入射角 | 自动、手动或固定 （自动：45-90 度，0.01 度步进） |
| 样品台 | 6" 标准（8" 和 12" 可选） 自动 θ-Y 或手动 θ-Y 电机驱动 Z 轴或手动 Z 轴 手动倾斜控制 |
| 准确性 | Δ=±0.01 度 Ψ=±0.01 度 @SiO2(1000Å)/Si |
| 采样时间 | 最少 0.05 秒 |
| 软件 | 从“研究”或“工业”中选择 |
| 个人电脑 | IBM-PC 兼容 |
| 方面 | 300(W) x 400(D) x 450(H)mm |
| 电力供应 | AC100V(±10) 5A（最大） |
测量原理
椭偏仪的光源侧（左侧）和传感器侧（右侧）的倾斜度都得到了稳固的调整。
在大多数情况下，入射角为 70 度。（垂直撞击时的入射角为0度）
反射光的状态，即偏振状态，用Ψ(psi)和Δ(delta)两个参数来表示。
根据测得的 Ψ 和 Δ，计算薄膜的厚度和它的折射率。
光源
椭偏仪可大致分为以激光为光源的椭偏仪（单波长型）和以氙灯等白光为光源的椭偏仪（光谱型）。
分光型可以进行比单波长型更复杂的测量。也可以详细分析多层膜（相互层叠的膜）以及膜与基板（界面）之间的状态。
单波长型基本上是针对单层（单层）薄膜的，但它比分光型具有更便宜、测量速度更快、更易于操作的优点。
