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µPhase® UNIVERSAL 100 卧式干涉仪

*用于测量平面和球面的4英寸干涉检测系统

*适合长焦光学零件和系统的检测

*镜头口径:50mm、100mm或150mm
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Product Details

产品特点


*用于测量平面和球面的4英寸干涉检测系统

*适合长焦光学零件和系统的检测

*镜头口径:50mm、100mm或150mm

*平面测量范围:最大98mm

*半径测量系统集成导轨和光栅尺

*球面测量范围:凹面曲率半径最大-3000mm(提供相应导轨)

*与市场上通用的4英寸标准球面物镜相兼容

*可选CGH,用于测量非球面、柱面、轮胎面等

 

产品参数


产品型号

µPhase® UNIVERSAL 100  

用途 研发
被测样品类型 平面、球面、环曲面、非球面、柱面
被测样品尺寸(测量范围) 最大Ф150mm、样品大小取决于类型和测试镜头
被测样品最大重量 1.5kg
校准工具 手动倾斜台,手动XY工作台,手动Z轴
半径测量范围 根据测试目标和半径测量轨道的长度,最长可达2m,集成半径测量单元,特别是很长的半径测量
半径测量精度 30um
尺寸(高*宽*深) 500mm*2500mm*400mm(宽度取决于轨道的长度) 
重量 30kg(取决于配置) 
类型 台式设备
可选项 可选CGH,用于测量非球面,柱面或曲面,可选附加功能,例如多个口径, Waver、刀具偏置、透射法测量

 

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