高精度非接触式光学测厚仪 LensThick非接触式光学测厚仪
LensThick非接触式光学测厚仪利用光的独特性质测量厚度，其测量原理为：测量激光照射到被测试材料上，经过每个表面反射后被收集，然后在光学干涉仪上进行分析，光学干涉仪是一种高精度的“光学尺”，它测量每个反射信号的长度差，以确定每一层的厚度和总厚度。
产品特点
*非接触式测量，不会造成元件表面损坏或变形
*用于高精度定位测量位置的可见光束
*可同时测量31层壁厚
*精度可达±0.1微米
*测量重复性达±0.02微米
*基于内部固有长度标准，实时显示测量数据
*测量结果可追溯至NIST标准
*测量物理厚度可达12微米（折射率1.5时）
*集成装置，操作简便，更无需专用PC
产品型号及技术指标
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规格参数 |
LensThick 系列 |
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型号 |
12-1 UP |
12-1 |
40-1 UP |
40-1 |
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厚度测量 |
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方法 |
非接触式光学干涉法 |
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光学厚度上限 （折射率为1的空气间隔） |
12 mm |
40 mm |
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物理厚度上限 （折射率为1.5的材料） |
8 mm |
26 mm |
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物理厚度下限 （折射率为1.5的材料） |
16 μm（±0.1μm精度） 12 μm（±1 μm精度） |
35 μm |
20 μm（±0.1μm精度） 12 μm（±1 μm精度） |
35 μm |
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精度 1,2 |
±0.1 μm |
±1 μm |
±0.1 μm |
±1 μm |
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重复性 3,4 |
±0.02 μm |
±0.05 μm |
±0.02 μm |
±0.05 μm |
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可溯源 |
NIM认证标准 |
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单位 |
mm、μm |
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测量频率 |
20 Hz |
7 Hz |
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仪器接口 |
USB2.0及以上接口 |
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电脑配置 |
Windows 7/8/10,1GB内存，USB2.0以上接口，显示器，鼠标 |
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环境 5 |
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热机时间 |
无 |
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温度 |
15℃到30℃（存储-10℃到+70℃） |
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压力 |
500 — 900 mm Hg |
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湿度 |
在+40℃时≤90% R.H.（无冷凝） |
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尺寸和重量 |
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尺寸 |
570mm×700mm×590mm（长×宽×高） |
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重量 |
20㎏ |
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功率 |
90-264 VAC，47-63 Hz，80 VA最大 |
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质保期 |
1年 |
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